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殘氧儀的檢測原理主要有兩種：電化學傳感器法和激光法。

化學反應和物理吸附

光譜儀是一種多功能的無損檢測儀器，其采用的是激光光源，使用不同的波長可以檢測到不同的物質，主要用來檢測金屬、陶瓷、塑料等物質中是否含有某種元素，由于這種元素是可以用來做檢測的，所以很多人會認為光譜儀就是檢測金屬元素的儀器。其實并不是這樣的，光譜儀并不是只可以檢測金屬元素，其他類型的物質也可以使用光譜儀進行檢測。

照度計是用于測量照度的儀器，一般用勒克斯(Lux)作為計量單位。照度定義為單位面積上接收到的光通量，單位為勒克斯。照度計的量程是指照度計能夠測量的小和大照度范圍。

氡氣檢測儀主要是起到氡氣濃度點測或連續監測的作用，可應用于民用建筑內的氡氣濃度監測或污染控制。由于它采用的工作原理是不同的，所以它可檢測的氣體種類也不同。