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美國(guó)ALICAT MCE & MCV 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(真空型)產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
MCE系列設(shè)計(jì)用于取代老化陳舊或性能不佳的熱式流量控制器。設(shè)備結(jié)構(gòu)、安裝模式、功能等無任何差異，方便用戶快速、簡(jiǎn)易地進(jìn)行替換，并可定制引腳分配使之與用戶端的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，很大量程：0-20 slpm，另有316L不銹鋼結(jié)構(gòu)的耐腐蝕系列(MCES)可選。
Alicat 的 MCE 系列流量控制器可精控制過程氣 體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力，功能與匹配性與其它品牌無 異，依照 SEMI 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，將后置式高速比例控制閥置于流量 本體內(nèi)。
美國(guó)ALICAT MCE & MCV 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(真空型)產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
設(shè)計(jì)用于高真空應(yīng)用的MCV系列是在上述MCE系列的基礎(chǔ)上另增加一集成式氣動(dòng)截止閥，有效杜絕設(shè)定值為零時(shí)氣體進(jìn)入真空腔體，很大量程：0-20 slpm，另有316L不銹鋼結(jié)構(gòu)的耐腐蝕系列(MCVS)可選。
Alicat 的 MCV 系列流量控制器適用于高真空應(yīng)用， 在 MCE 后增加一個(gè)集成式正向切斷閥，其氦氣泄漏率僅為 1x10-9 atm-scc/s，有效地杜絕了污染物進(jìn)入。
Alicat 的 MCE & MCV 系列質(zhì)量流量控制器采用專有的內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體 仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)，充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行 修正。
Alicat 的 MCE & MCV 系列質(zhì)量流量控制器帶有集成式多功能數(shù)字顯示屏，用戶僅通過屏幕按鈕操作便可控 制設(shè)定值及 PID 閥門調(diào)節(jié)。很高可達(dá) 0.4%的精度、0.2%的重復(fù)性及不到 100 毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間很大程度 優(yōu)化了氣體控制過程，同時(shí)開放模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式。另有各類定制化選項(xiàng)供特殊項(xiàng)目需求， 如：用于危險(xiǎn)環(huán)境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區(qū)和 CSA(美國(guó))1 類 2 區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。
美國(guó)ALICAT MCE & MCV 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(真空型)產(chǎn)品應(yīng)用：
Alicat 的 MCE & MCV 系列質(zhì)量流量控制器(真空型) 廣泛應(yīng)用于須遵守 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)用，如：半導(dǎo)體、真 空鍍膜等。MCE 系列質(zhì)量流量控制器尤其適用于低真空應(yīng)用，MCV 系列則適用高真空。多變量測(cè)量與控 制、多種氣體標(biāo)定以及 200:1 量程可調(diào)比使得僅用一臺(tái) Alicat 質(zhì)量流量控制器便可取代多臺(tái)設(shè)備的功效。
MCE & MCV 質(zhì)量流量控制器(真空型)可測(cè)量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-20 slpm 的滿量程的任何流量。
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