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日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過(guò)程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實(shí)時(shí)地準(zhǔn)確控制氣流質(zhì)量流量。利用氣流流過(guò)不銹鋼毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量;不同于測(cè)壓力或測(cè)體積方法等類別流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測(cè)量電路信號(hào)實(shí)時(shí)反映氣流瞬時(shí)流量，并通過(guò)PID電路實(shí)時(shí)控制比例電磁閥而準(zhǔn)確控制流量，所以特別適用于過(guò)程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。

S500系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：

具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。

耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

閥體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。線路板、閥體、彈簧片、精致電阻和電容等為重要零部件，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。

可任意角度安裝。

電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合工作。

我們會(huì)努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準(zhǔn)。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)目	S500 (規(guī)格Type AR111)
外部密封	氟橡膠
接觸氣體材料	SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼
調(diào)節(jié)閥類型	非通電時(shí)常閉
滿量程流量(N2換算流量)	10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min 1,2,3,5,10,20,30 L/min
流量控制范圍	2%～100%F.S. (0.1～5V DC)
流量測(cè)量范圍	0～100%F.S. (0～5V DC)
響應(yīng)時(shí)間（輸出電壓）	1秒　(保證 1.5秒以內(nèi)T98)
工作環(huán)境溫度	5～45℃　(精度保證　15～35℃)
流量精度	±1.0%F.S
線性	±0.5%F.S.
重復(fù)性	±0.2%F.S.
工作壓差	10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) 10L/min～30L/min :100～300kPa(d)
很大工作（使用）壓力	300kPa(G)
耐壓	3MPa(G)
泄漏率	1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下
流量設(shè)定信號(hào)	0.1～5VDC(2%～100%F.S.)
流量輸出信號(hào)	0～5VDC(0%～100%F.S.)
供電電源	+15V±5% 100mA以下 －15V±5% 150mA以下
管路接頭	1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR
安裝角度	任意
電氣接頭	D-Sub　15pin
輸入輸出阻抗	輸入：1MΩ以上　　輸出：3mA以下
附加功能	Auto-zero、Auto-close

滿量程流量50mL/min一下的響應(yīng)時(shí)間為2S以內(nèi)